长沙市重大专项航空发动机用高性能压力传感器攻克“卡脖子”关键技术
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作者：
李霄
来源：
呼麦网
发布时间：
2021-07-02
本文原标题：《长沙市重大专项航空发动机用高性能压力传感器攻克“卡脖子”关键技术》
2021年6月20日，呼麦网|hmwwm.com小编在长沙市科技局官网“首页>政府信息公开>市局动态”栏目看到一则标题为《长沙市重大专项航空发动机用高性能压力传感器攻克“卡脖子”关键技术》的消息，以下为该消息全文——
为推进科技创新建设，提升科技专项资金使用绩效，6月16日，长沙市科技局组织有关专家对中南大学和中国电子科技集团公司第四十八研究所联合承担的长沙市重大专项航空发动机用高性能压力传感器的开发及应用项目进行了现场验收，达到预期效果，一致同意通过验收，此举意味着该项“卡脖子”关键技术得以攻克。
验收现场，专家组听取了项目负责人对于项目实施情况的汇报，审阅了验收材料，并现场检查和考察了高端传感器产品、科研平台和生产现场。
该项目2018年立项，立足长沙科技创新自立自强，依托中国电子科技集团公司第四十八研究所“传感器省国防重点实验室”和中南大学“高性能复杂制造国家重点实验室”，着力推进产学研协同创新，着力开展高性能压力传感器的研究与开发，打破国外公司封锁。经过三年的科技攻关，项目组攻克了敏感电阻精准掺杂、SOI压敏芯片制造、无引线压力传感器封装等关键工艺和技术。研制出的高性能SOI压力传感器器件，在某型号航空发动机上进行了应用验证，性能达到国际先进水平，打破了国外高端压力传感器的封锁，解决了耐高温压力传感器的“卡脖子”技术问题，为更高温度压力传感器的研制奠定重要的理论和技术基础。本项目取得创新的芯片设计、无引线封装新架构及其制备新工艺新技术等重大科技成果，将引发耐高温高性能传感器的设计原理和制造技术的技术革新。项目取得了显著的社会效益和经济效益。研究期内，共申请专利8件（已授权5件），发表论文10篇，其中SCI论文7篇，1%高被引论文1篇；研制的芯片和器件应用到了多个装备型号，累计销售收入达2000万元。
专家组经质询和讨论后认为，该项目全面完成了合同书规定的研究任务及考核指标，通过验收。
下一步，长沙市科技局将打造具有核心竞争力的科技创新高地，持续增加高端传感器研发的投入，不断提升科研创新能力，持续在长沙转化高科技成果，打造高性能传感器国内创新高地。
来源：长沙市科技局
长沙科技局
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